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      镀膜半片自动化上下料机
      产品说明：

      扩散 &LP 自动化是一款将未工艺硅片从花篮取出插入到石英舟中， 并将工艺后硅片插回花篮的设备。

      设备特性：

      1. 结构设计合理，产能高，尺寸小

      2. 吸盘板采用碳纤维材质，不易变形，质量更轻，机器人寿命更久

      3. 舟定位夹紧力可参数调节，是否到位可反馈报警

      4. 高握持力皮带减少皮带跑偏，柔性覆膜减少皮带印

      5. 上料具有半片补片功能，杜绝因单轨缺片导致的大饼片

      产品参数：
      参数 参数值
      产能 14000半片/小时
      碎片率 ≤0.03%
      EL不良 ≤0.03%
      正常运行时间 98.5%